东葛贺., 津梁. and 国敬刘. 2026. 多区真空吸附晶圆减薄承片台结构设计研究. 科学技术与应用. 3, 4 (Sep. 2026). DOI:https://doi.org/10.59429/kxjsyy.v3i4.15206.